納米間隙器(qi)件靜電放電安全(quan)閾(yu)值(zhi)研究
1.前(qian)言(yan)隨(sui)着技(ji)術(shu)的(de)髮展(zhan),納(na)米(mi)尺度的(de)器(qi)件(jian)需(xu)求(qiu)越來越(yue)多,生(sheng)産製程(cheng)中(zhong)需要對納米尺(chi)度(du)的産(chan)品進行相(xiang)應(ying)防(fang)護(hu),這就(jiu)需(xu)要對(dui)納米(mi)儘度(du)擊(ji)穿特性的(de)進(jin)行(xing)研究(jiu)。在這(zhe)箇領(ling)城其(qi)中(zhong),主(zhu)要(yao)的(de)研(yan)究(jiu)學(xue)者包括日(ri)本(ben)大(da)阪(ban)大學的(de)Y.Hirata、印(yin)度理工(gong)學(xue)院的N.S.Ra-jiput、西安(an)交通(tong)大學的Y.Cheng以(yi)及瑞典(dian)烏(wu)普薩拉大學的(de)V.Zie..




